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德圖氣探針的幾大工作方式要了解

更新時(shí)間:2019-07-09點(diǎn)擊次數(shù):2114
   德圖氣探針的幾大工作方式要了解
  德圖氣探針又可稱之為微區(qū)X射線譜分析儀,實(shí)際上就是把高速的電子打在物體上。探針?biāo)东@的不是電子,它要的是物體受到電子攻擊產(chǎn)生的X線,因?yàn)檫@個(gè)X線含有標(biāo)本的化學(xué)成分信息,所以它長(zhǎng)用來(lái)分析物體里有什么,這樣我們就知道標(biāo)本里面有多少氫多少氧等等。
  德圖氣探針是X射線光譜學(xué)與電子光學(xué)技術(shù)相結(jié)合而產(chǎn)生的。48年法國(guó)的R.卡斯坦制造了臺(tái)電子探針儀。58年法國(guó)首先制造出商品儀器。電子探針儀與掃描電子顯微鏡在結(jié)構(gòu)上有許多共同處。70年代以來(lái)生產(chǎn)的電子探針儀上一般都帶有掃描電子顯微鏡功能,有的還附加另一些附件,使之除作微區(qū)成分分析外,還能觀察和研究微觀形貌、晶體結(jié)構(gòu)等。
  德圖氣探針主要包括:探針形成系統(tǒng)(電子槍、加速和聚焦部件等)、X射線信號(hào)檢測(cè)系統(tǒng)和顯示、記錄系統(tǒng)、樣品室、高壓電源和掃描系統(tǒng)以及真空系統(tǒng)。
  德圖氣探針有三種基本工作方式:
  1.點(diǎn)分析用于選定點(diǎn)的全譜定性分析或定量分析,以及對(duì)其中所含元素進(jìn)行定量分析;
  2.線分析用于顯示元素沿選定直線方向上的濃度變化;
  3.面分析用于觀察元素在選定微區(qū)內(nèi)濃度分布。
  由莫塞萊定律可知,各種元素的特征X射線都具有各自確定的波長(zhǎng),通過(guò)探測(cè)這些不同波長(zhǎng)的X射線來(lái)確定樣品中所含有的元素,這就是探針定性分析的依據(jù)。而將被測(cè)樣品與標(biāo)準(zhǔn)樣品中元素Y的衍射強(qiáng)度進(jìn)行對(duì)比,就能進(jìn)行探針的定量分析。當(dāng)然利用電子束激發(fā)的X射線進(jìn)行元素分析,其前提是入射電子束的能量必須大于某元素原子的內(nèi)層電子臨界電離激發(fā)能。
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